徐静
作品数: 43被引量:76H指数:5
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

吴亚明
作品数:167被引量:198H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 阵列波导光栅
钟少龙
作品数:40被引量:72H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
李四华
作品数:45被引量:46H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 体硅工艺 圆片级
李绍良
作品数:11被引量:41H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
高翔
作品数:1,865被引量:6,753H指数:37
供职机构:浙江大学
研究主题:催化剂 烟气 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能