-
屈芙蓉
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 夏洋

- 作品数:516被引量:70H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李楠

- 作品数:135被引量:20H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
- 李超波

- 作品数:381被引量:161H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 卢维尔

- 作品数:123被引量:35H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
- 赵丽莉

- 作品数:77被引量:16H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 离子注入 阵列 衍射效率 菲涅耳波带片