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陕西省重大科技创新专项计划项目(2004K07-Gg)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:陈治明张群社更多>>
相关机构:西安理工大学更多>>
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相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇大直径
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇温度场
  • 1篇温度梯度

机构

  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇张群社
  • 1篇陈治明

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
大直径6H-SiC晶体PVT法生长感应加热系统有限元分析
2007年
采用有限元分析法系统地研究了大尺寸6H-SiC晶体PVT法生长装置中感应加热线圈的不同高度和匝间距对生长腔、粉源以及生长晶体温度场的影响;分析比较了线圈取不同匝间距时晶体生长面径向温度梯度的变化.结果表明,在中频电源的输出功率和频率固定,盲孔内径不变的情况下,通过适当调整线圈匝间距和高度可以减小晶体生长面径向温度梯度,提高晶体的质量,同时又有比较高的生长率.
张群社陈治明
关键词:温度场温度梯度
共1页<1>
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