郭智
- 作品数：30 被引量：54H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海应用物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金上海市科学技术委员会基础研究重点项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术核科学技术更多>>
- 极紫外掩模的同步辐射在波长高分辨成像仿真研究
- 2025年
- 极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻要求近乎无缺陷的EUV掩模,需要对EUV掩模缺陷进行高分辨率的在波长成像分析,分析结果用于后续的修复工艺。同步辐射可以提供优质、洁净的EUV光,结合傅里叶合成照明技术,可有效合成较大的数值孔径(Numerical Aperture,NA),实现对EUV掩模缺陷的高分辨分析,该技术已在多个国际同步辐射装置上得到广泛应用。受限于传统圆形波带片数值孔径特性,国际上EUV掩模检测的最高分辨率仅达到22 nm。为了进一步提升成像分辨率,提出了采用椭圆形波带片替代常规的圆形波带片设想,并进行了系统性仿真研究。计算结果表明,椭圆形波带片数值孔径可达4×NA=1.15,显著高于圆形波带片的4×NA=0.625。采用极端双极照明模式可以实现12 nm极限分辨率,远高于目前的国际最高分辨率。该研究结果对基于同步辐射光源的EUV掩模缺陷的在波长成像分辨率提高具有重要意义。
- 苏子净刘海岗刘海岗张祥志孟祥雨郭智张祥志邰仁忠
- 弛豫铁电体中纳米极化区域的同步光实验研究
- 弛豫铁电体具有优异的压电、电致伸缩等特性，已广泛地应用于超声设备、传感器等，并有可能用于人工智能、神经网络等领域。该材料的优异特性被认为来源于材料内存在的大量纳米极化区域(PNRs)。研究PNRs的空间构造对于理解弛豫铁...
- 郭智
- 关键词：小角散射弛豫铁电体
- 一种软X射线吸收谱的测量系统
- 本实用新型提供一种软X射线吸收谱的测量系统，包括位于同一光轴上的平面光栅单色器、金网和待测样品，以及与所述平面光栅单色器、金网和待测样品均相连的EPICS系统，所述EPICS系统包括通过以太网相连的操作员电脑和输入/输出...
- 孙天啸张祥志曹杰锋李小艳邰仁忠王勇郭智邢振江何健孟祥雨
- 中心挡板对扫描相干X射线衍射成像的影响被引量：4
- 2013年
- 本文采用重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了扫描相干衍射成像中中心挡板导致的低频信号丢失对重建图像质量的影响.结果表明,扫描相干衍射成像对中心挡板的承受能力远大于平面波单次相干衍射成像,且选择小尺寸入射探针和较高重叠度(70%)可进一步降低中心丢失信号对扫描相干衍射成像的负面影响.另外,光斑扫描位置误差在重叠度较高时将超过中心挡板成为扫描相干衍射成像最主要的负面影响因素.本文研究结果对扫描相干衍射成像实验中如何应用中心挡光板具有重要的指导意义,将有助于进一步提高扫描相干衍射成像的分辨率.
- 刘海岗许子健张祥志郭智邰仁忠
- 一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统
- 本实用新型涉及一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统，其包括：通过一万向磁力表座安装在一真空腔体内的电磁铁，其包括：由相互平行设置的上水平磁铁板和下水平磁铁板、以及连接在所述上水平磁铁板和下水平磁铁板之间的竖直磁铁板...
- 孟祥雨王勇甄香君郭智张丽娟张祥志于怀娜曹杰锋李俊琴邰仁忠
- 基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计被引量：2
- 2008年
- 基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高。本文提出用高级硅刻蚀工艺和硅氧化工艺制作深高宽比纳米级SiO2光栅的新方法,可以解决直接刻蚀制作此光栅难度大的问题,适用于制作上海光源(SSRF)软X射线干涉光刻分束光栅。
- 朱伟忠吴衍青史沛熊郭智邰仁忠徐洪杰
- 关键词：衍射效率
- 软X射线光子关联谱装置设计
- 2019年
- X射线光子关联谱技术(X-ray Photon Correlation Spectroscopy,XPCS)是一种利用相干X光散射的二次相干,研究凝聚态物质在小尺度范围弛豫动力学的新技术,对入射光的相干性有较高要求。上海同步辐射光源BL08U干涉光刻分支线站(X-ray Interference Lithograph,XIL)采用椭圆偏振波荡器作为光源,具有很好的相干性,光子通量高,适合铁电体、磁性材料中介观尺度电极性或磁性微区的动力学研究。由此设计一套基于软X射线的光子关联谱装置,采用软X射线为入射相干光,对二次相干光采集、转换、放大处理之后进行自相关运算。该装置测量的样品周期尺度范围为10～60 nm。该装置的研制设计为更好地分析材料动力学信息提供了一种技术途径,是硬X射线的有效补充。
- 屈斯诗郭智邰仁忠邰仁忠刘海岗张祥志
- 关键词：软X射线动力学
- 0.72Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.28PbTiO_3弛豫铁电体中纳米极化区域温度特征实验研究
- 2007年
- 利用同步辐射X射线小角散射实验方法,研究了0.72Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.28PbTiO3弛豫铁电体中纳米极化区域(PNRs)在自发状态下随温度变化的响应特性。得到在自发状态下,PNRs从Tm(介电系数最大值所在温度)到Tm以上100K有沿轴向的稳定关联结构,该关联结构在Tm以上300K完全消失。结合以前的实验结果,得到PNRs在Tm附近约±20K的温度区间内存在的沿对角方向的周期性关联结构是材料高性能的来源之一。
- 郭智严睿张祥志邰仁忠
- 关键词：小角散射弛豫铁电体
- 同步辐射扫描透射X射线显微成像系统振动的闭环控制方法研究
- 2024年
- 上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)扫描透射X射线显微成像(Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM)实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统,目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15 nm,扫描相干衍射成像方法成像的分辨率达到7.32 nm。系统振动是影响其成像质量的主要因素。本文针对波带片和样品之间系统振动进行详情分析,并提出相应的抑制策略,旨在提升STXM系统的成像质量。采用激光干涉仪和现场可编程门阵列(Field Programmable GateArray,FPGA)技术,从软件层面开发了一种针对STXM中波带片和样品位置稳定性的闭环控制系统。该控制系统在最佳条件下可将STXM系统振动的均方根值(Root Mean Square,RMS)有效控制到4.833 nm,减少至原振动水平的约1/3,为STXM系统的成像质量进一步提升奠定了技术基础。
- 姚镇焦禹晨赵波孙天啸张宇飞郭智郭智许子健王勇刘海岗许子健邰仁忠
- 关键词：STXM激光干涉仪压电电机FPGA闭环控制
- 一种有效提高太赫兹时域光谱装置成像空间分辨率的方法被引量：2
- 2015年
- 太赫兹波成像技术一个最显著的制约因素是其有限的空间分辨率。提出通过在样品前加小孔的方法来提高传统太赫兹时域光谱装置成像的空间分辨率。采用在样品前约2mm处加直径为0.5mm小孔的方法使成像的空间分辨率从1.276mm提高到0.774mm,提高0.502mm,约39%。通过这个简单的方法在传统的太赫兹时域光谱成像装置上实现了空间分辨率从毫米量级到亚毫米量级的提高。聚乙烯板上直径为1mm的小孔被作为成像的研究对象,分别采用传统的太赫兹时域光谱装置对样品进行直接成像和在样品前约2mm处加直径为0.5mm的小孔后对样品成像两种方式,并采用损失成像中信噪比较好的能量损失成像,对比两种方式得到的样品的太赫兹像,结果显示聚乙烯板上小孔的边界加小孔后成像比不加小孔直接成像明显清晰。证实了在样品前加小孔可以有效的提高太赫兹成像系统的空间分辨率。从理论上对通过在样品前加小孔提高系统空间分辨率的方法进行了分析,指出小孔尺寸越小,系统的空间相干长度越大,空间分辨率越高,但同时太赫兹信号的强度会相应减小。该方法可以简单有效的提高太赫兹时域光谱装置成像的空间分辨率,从而进一步拓展太赫兹谱成像技术的应用领域。
- 张增艳吉特朱智勇赵红卫陈敏肖体乔郭智
- 关键词：成像空间分辨率小孔
