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候哲哲

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：石家庄铁道学院更多>>
发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇电路
  • 1篇直拉硅
  • 1篇直拉硅单晶
  • 1篇退火
  • 1篇快速退火
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅单晶
  • 1篇ULSI
  • 1篇CZ硅单晶
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 1篇石家庄铁道学...
  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇候哲哲
  • 1篇乔治
  • 1篇刘彩池

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ULSI用CZ硅单晶中的空洞型原生缺陷及其控制
2005年
详细阐述了COP、 LSTD 和FPD等空洞型原生缺陷的基本性质、形成机理和它们与晶体生长参数的关系,以及目前主要采用的几种消除空洞型缺陷的方法。研究表明,利用快速退火消除空洞型原生缺陷, 是一种简单而有效的方法。
乔治候哲哲刘彩池
关键词：超大规模集成电路直拉硅单晶快速退火
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共1页<1>
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