王渤帆
- 作品数：18 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 双光源正弦相位调制位移测量干涉仪
- 一种双光源正弦相位调制位移测量干涉仪，适用于静态位移的测量。其结构包括光源、光纤耦合器、隔离器、准直器、光电探测器和信号处理器。所述的光源带有驱动电源和温度控制器，且波长不相等；两驱动电源之间连接有初始相位相同的触发控制...
- 王渤帆李中梁王向朝
- 文献传递
- 光学元件旋转定位夹具
- 一种光学元件旋转定位夹具，其特点在于由旋转定位标记板、旋转台和二维偏心调节台组成，所述的二维偏心调节台具有一个供所述的旋转台安装的凹形圆盘和在该凹形圆盘的两个相互垂直的方向设有两个调节旋钮，所述的旋转台具有供被测光学元件...
- 徐洋唐锋王向朝王渤帆
- 文献传递
- 光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法
- 一种用于绝对检验中光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法，所述的光学元件旋转定位夹具由旋转定位标记板、旋转台、二维偏心调节台组成。本发明具有结构简单，成本低的特点，解决了目前绝对检验方法对高精度旋转台的依赖问题。
- 徐洋唐锋王向朝王渤帆
- 文献传递
- 基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法
- 一种基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法，本发明的特点是通过使用二极照明方式代替常规照明方式，优化了二极照明方式下作为检测标记的移相光栅的周期参数，利用该检测标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高...
- 彭勃王向朝邱自成袁琼雁曹宇婷王渤帆
- 文献传递
- 提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法
- 一种提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法，通过合理地选择正弦相位调制深度，从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差，减小了电路中的直流噪声引起的随机误差，提高了振动测量精度。
- 李中梁王向朝王渤帆
- 文献传递
- 半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法
- 一种半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法，所述的干涉仪结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器和信号处理器。光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号与光源驱动电源的电压信号一起输入信号处理器内进行数...
- 王渤帆李中梁王向朝
- 复合电流调制半导体激光干涉仪
- 一种复合电流调制半导体激光干涉仪，适用于距离测量。其结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器、分束镜、参考反射镜、信号处理器、反馈控制器。所述的光源带有驱动电源和温度控制器；驱动电源提供两个不同频率的正弦调制...
- 王渤帆李中梁王向朝崔丽君
- 消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪被引量：2
- 2011年
- 在双波长半导体激光（LD）正弦相位调制（SPM）干涉仪中,通过注入电流调制LD波长的同时,光源的输出光强也被调制,影响了测量精度。提出了一种新的双波长LD SPM干涉仪,通过对干涉信号进行处理,得到与干涉信号相位相关的线性方程组,利用该方程组精确计算相位,消除了光源光强调制的影响,使测量误差由6μm减小至1μm,并利用该干涉仪与波长扫描技术相结合实现了绝对距离的测量,当待测距离为60~280 mm时,测量结果的重复性为1μm。
- 王渤帆李中梁王向朝步扬
- 关键词：半导体激光器正弦相位调制
- 半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法
- 一种半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法，所述的干涉仪结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器和信号处理器。光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号与光源驱动电源的电压信号一起输入信号处理器内进行数...
- 王渤帆李中梁王向朝
- 文献传递
- 复合电流调制半导体激光干涉仪
- 一种复合电流调制半导体激光干涉仪，适用于距离测量。其结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器、分束镜、参考反射镜、信号处理器、反馈控制器。所述的光源带有驱动电源和温度控制器；驱动电源提供两个不同频率的正弦调制...
- 王渤帆李中梁王向朝崔丽君
- 文献传递
