胡晓峰
- 作品数：16 被引量：32H指数：4
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程医药卫生一般工业技术更多>>
- 宽范围高对准精度纳米压印样机的研制
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案。与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100n...
- 范细秋张鸿海胡晓峰贾可刘胜
- 关键词：纳米压印光刻
- 宽范围高对准精度纳米压印样机的研制
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100n...
- 范细秋张鸿海胡晓峰贾可刘胜
- 关键词：光学光刻技术
- 纳米热压印设备与试验研究
- 目前制备纳米光电子器件的核心技术——光刻技术,由于光波波长和数值孔径的限制以及衍射、散射与干涉等影响难于制作线宽小于100nm 的图案。纳米压印是一种突破传统光学光刻分辨率极限的新的纳米级结构的制作技术。它不是通过改变阻...
- 胡晓峰
- 关键词：光刻热压印
- X染色体的结构和DNA复制与表型关系的探讨
- 胡晓峰
- 与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法
- 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具，然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀，得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造，...
- 王志勇刘胜张鸿海贺德建胡晓峰汪学方陈志凌马斌
- 一种基于纳米碳管的互连方法
- 本发明公开了一种基于纳米碳管的互连方法，包括：在硅基底上用电子束蒸发一层厚度为20～200nm的铝膜；采用阳极氧化法将铝膜制备成多孔氧化铝模板；根据硅基底的互连需要，采用曝光、湿法显影和干法刻蚀，制作开有通孔的掩膜板；将...
- 吴昕刘胜张鸿海范细秋贾可胡晓峰甘志银汪学方
- 高效率低成本纳米级图形复制技术
- 介绍了一种新型的高效率、低成本的纳米结构制作方法——纳米压印光刻技术。该工艺不同于传统光刻工艺,它是通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形化。因此,其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径等因素的限制,可突破传统光...
- 张鸿海胡晓峰范细秋贺德建刘胜
- 关键词：纳米压印光刻
- 高效率低成本纳米级图形复制技术
- 本文介绍了一种新型的高效率、低成本的纳米结构制作方法--纳米压印光刻技术.该工艺不同于传统光刻工艺,它是通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形化.因此,其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径等因素的限制,可突破传...
- 张鸿海胡晓峰范细秋贺德建刘胜
- 关键词：纳米压印光刻技术微器件
- 宽范围高对准精度纳米压印样机的研制被引量：4
- 2005年
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100nm以下图案较好的下一代方法.介绍了自行研制的具有高定位和对准精度的纳米压印样机.利用该样机压印出的纳米级光栅、微凸点阵列、微透镜阵列等纳米结构和微器件的图形质量均匀性良好.该工艺为实现低成本、大批量复制纳米结构创造了条件,在半导体集成电路、微光学、生物和化学分析等微纳结构和器件的制作中有着广泛的应用前景.
- 范细秋张鸿海胡晓峰贾可刘胜
- 关键词：纳米压印光刻
- 热压印制作微透镜阵列
- 本文介绍利用热压印技术制作微透镜阵列的方法,热压印是一种很有前景的聚合物材料结构和器件加工方法,这种方法利用制作的模板,在温度达到聚合物的玻璃转化温度之上后施加一定压力将模板压在聚合物样品上,使得模板结构转移到样品上来....
- 胡晓峰张鸿海贺德建范细秋
- 关键词：热压印微透镜阵列
