白亦真
- 作品数：55 被引量：118H指数：5
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 快速沉积的金刚石薄膜生长特性
- 1991年
- 本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石
- 金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺
- 本发明属金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺、采用MnO<Sub>2</Sub>、Ni、Au三种浆料、顺序分三次丝网印刷在金刚石厚膜生长面上，每次印刷后都在400～550℃温度下预烧5～20分钟，最后在真空度10<Sup>-2...
- 王佳宇陈宏宇吕宪义白亦真金曾孙
- 文献传递
- 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究被引量：1
- 2006年
- ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.
- 孙剑杨天鹏白亦真徐艺滨王新胜杜国同
- 关键词：声表面波滤波器金刚石ZNO薄膜
- 镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法
- 本发明属于Ⅲ族氮化物薄膜和器件制造领域，提供了一种镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法。具体是以金属为衬底，先使用磁控溅射方法在金属衬底上制备金层，再使用电子回旋共振‑等离子体增强金属有机物化学气相沉积EC...
- 秦福文马春雨白亦真王德君林国强
- 文献传递
- 气压和偏流对高掺硼金刚石晶体性质的影响(英文)被引量：1
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积法,改变工作气压和偏流,在硅基片上沉积了高掺硼金刚石膜。利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱和X射线衍射仪对沉积的金刚石膜表面形貌和结构进行表征。结果显示:当气体压强从3kPa降低到1.5kPa时,金刚石膜有较平的表面形貌和和较好的晶形,薄膜的晶体性质得到良好的改善。但是继续降气体压强,从1.5kPa到0.5kPa时,却呈现出相反的趋势。固定气体压强(1.5kPa),改变偏流,结果表明:适当的偏流(3A)可以改善掺硼金刚石的质量,偏流较高会导致薄膜中非金刚石相增多。
- 贾福超白亦真屈芳孙剑赵纪军姜辛
- 关键词：气体压强偏流扫描电镜X射线衍射仪拉曼光谱
- 直流电弧等离子体射流法沉积金刚石薄膜被引量：2
- 1991年
- 金刚石以其卓越的理化性能而受到人们普遍重视。近年来兴起的低压气相合成法,为金刚石在各领域中的更广泛应用提供了光明的前景。但诸多种低压合成法的不足之处在于金刚石的沉积速率还比较低,在某种程度上限制了它的应用范围。直到80年代末,才在日本出现了一种高速沉积金刚石薄膜的方法,就是直流电弧等离子体射流方法,其沉积速率比其它低压法要高几倍到几十倍。
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石薄膜直流电弧等离子体射流
- 甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用被引量：5
- 2002年
- 采用热阴极 DC-PCVD方法制备了金刚石膜 ,研究了甲醇对放电状态和金刚石膜生长特性的影响 .结果表明 ,通入适量的甲醇有利于稳定辉光放电状态 ,保持阴极清洁 ,提高膜的生长质量 .
- 姜志刚金曾孙白亦真曹培江张露杨广亮李俊杰吕宪义
- 关键词：甲醇辉光放电金刚石膜
- 自持金刚石厚膜上GaN薄膜的沉积及其表征
- 利用金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD),改变氮气流量,在自持金刚石厚膜上沉积GaN薄膜,采用X射线衍射谱,反射式高能电子衍射谱、扫描电子显微镜和原子力显微镜对薄膜进行表征,结果表明:GaN薄膜有较好的择优取向,表面...
- 张东白亦真秦福文贾福超赵纪军姜辛
- 关键词：GAN
- 文献传递
- 金刚石薄膜的快速沉积研究
- 1前言在诸多的低压气相沉积金刚石薄膜方法中,直流电弧等离子体喷射方法以其沉积速率快的优越特点而倍受人们的重视。作者自行设计、建立了直流电弧等离子体喷射装置,为寻找最佳的金刚石薄膜沉积工艺进行了多方面研究,经多次改进的沉积...
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石薄膜等离子体射流
- 文献传递
- 石墨烯改性图形化金属衬底上的氮化镓基薄膜及制备方法
- 本发明属于氮化镓基薄膜和器件制造技术领域，提供了石墨烯改性图形化金属衬底上的氮化镓基薄膜及制备方法。以图形化金属为衬底，先使用磁控溅射方法在金属衬底上制备催化金属层，再使用电子回旋共振‑等离子体增强金属有机物化学气相沉积...
- 秦福文马春雨白亦真王德君林国强
- 文献传递
