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张淑芳
作品数:
59
被引量:69
H指数:4
供职机构:
重庆大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
重庆市自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
方亮
重庆大学物理学院应用物理系
董建新
重庆大学物理学院应用物理系
吴芳
重庆大学物理学院应用物理系
刘高斌
重庆大学
吴旭
重庆大学
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1篇
2005
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一种可调节刻蚀液浓度的湿法刻蚀装置
本发明公开了一种可调节刻蚀液浓度的湿法刻蚀装置;所述湿法刻蚀装置包括刻蚀腔、刻蚀液槽、喷淋装置、刻蚀液管理系统;所述刻蚀腔用于容纳并刻蚀基板,所述刻蚀液槽用于储存刻蚀液,所述喷淋装置用于将刻蚀液槽内的刻蚀液喷入刻蚀腔内,...
刘丹
方亮
黄中浩
刘毅
林鸿涛
吴旭
张淑芳
吴芳
一种湿法刻蚀的水洗干燥装置
本发明公开了一种湿法刻蚀的水洗干燥装置;所述水洗干燥装置包括水洗腔和风干腔;所述水洗腔用于容纳并冲洗基板,所述风干腔用于容纳并风干基板,所述水洗腔与风干腔连通;所述水洗腔的入口处设有向基板表面吹气的气帘风刀,所述气帘风刀...
刘丹
方亮
黄中浩
刘毅
林鸿涛
吴旭
张淑芳
吴芳
P型GaN上镉铟氧透明电极及其制备方法
本发明公开了一种P型GaN上的镉铟氧(CIO)透明电极,它通过采用CIO透明导电薄膜结构,使透明电极的透光率比传统的金属(Ni或Ni/Au)电极提高15%以上,可望应用于GaN基蓝光发光二极管或激光二极管提高其出光效率,...
方亮
张淑芳
彭丽萍
董建新
刘高斌
一种带有等离子体清洗的湿法刻蚀装置
本发明公开了一种带有等离子体清洗的湿法刻蚀装置,所述湿法刻蚀装置包括等离子体清洗腔和刻蚀腔;所述湿法刻蚀装置还包括涡流管、冷却风刀Ⅰ、冷却风刀Ⅱ、加热风刀Ⅰ和加热风刀Ⅱ;所述涡流管的冷气管分别与冷却风刀Ⅰ和冷却风刀Ⅱ连通...
刘丹
方亮
黄中浩
刘毅
林鸿涛
吴旭
张淑芳
吴芳
一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置
本发明公开了一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置;所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间;所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统,所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵,所...
刘丹
方亮
黄中浩
陈国良
吴芳
张淑芳
刘高斌
管飞
吴波
熊永
吴旭
林鸿涛
一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置
本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置;所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间;所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置,所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置,所述湿法刻蚀装置还...
刘丹
方亮
黄中浩
陈国良
管飞
宋群梁
陈渝
吴芳
张淑芳
刘高斌
罗旭
熊永
吴旭
林鸿涛
一种防护效果好的电子信息展示架
本实用新型公开了展示架技术领域的一种防护效果好的电子信息展示架,包括底部四角固定连接有带刹车装置的万向轮的底座,底座的顶部中央垂直焊接有立柱,立柱的外壁左侧通过开设竖向凹槽镶嵌焊接有齿条,立柱的外壁滑动套接有移动套筒,利...
张淑芳
吴焱岷
胡云冰
余平
一种计算机信息安全设备加工装置
本实用新型公开了计算机信息技术领域的一种计算机信息安全设备加工装置,包括水箱,水箱有第一驱动电机,第一驱动电机有转动杆,转动杆有螺纹槽,转动杆有直板,直板有n形槽,直板有n形罩,n形罩与水箱连接,直板有L形板,水箱有横板...
张淑芳
张国卿
余平
p型GaN上透明电极的研究现状
GaN 基发光器件通常采用金属作为 p 型 GaN 的接触电极,但由于金属透光率低,大大降低了器件的发光效率,解决办法之一就是采用透明导电薄膜作为其接触材料。本文在分析 p-GaN 上难以形成欧姆接触原因的基础上,提出了...
董建新
方亮
张淑芳
高岭
孔春阳
关键词:
透明导电膜
GAN
欧姆接触
透明电极
P型GaN上镉铟氧透明电极及其制备方法
本发明公开了一种P型GaN上镉铟氧透明电极的制备方法,其工艺步骤为:1)在P型GaN上以物理气相沉积方式,沉积第一导电层;第一导电层厚度范围2到100埃;2)在第一导电层上以物理气相沉积方式,沉积CdIn<Sub>2</...
方亮
张淑芳
彭丽萍
董建新
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