王东红
- 作品数：1 被引量：7H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工程大学信息与通信工程学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 表面粗糙度的光学在线检测被引量：7
- 2003年
- 本文提出一种测量表面粗糙度的光学方法.根据Beckman电磁波散射理论和Fourier技术,使用CCD阵列采集光信号,通过软件方法,统计虚拟的楔环光能量,从而得到粗糙度的大小.测得的精度达到0.01μm,并能在线测量.这种测量方法的检测范围在0.01～0.90μm.测量的示值误差小于±10%,重复测量误差小于±5%,一个试件的平均测量时间小于5s.测量系统具有结构简单,体积小,成本较低,不损伤被测件表面的优点.由于测量对试件平台的震动不敏感,以及计算机处理的快速性,这种方法可用于在线检测.
- 孟克王东红
- 关键词：光学粗糙度在线检测
