徐登峰
- 作品数：209 被引量：56H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学一般工业技术更多>>
- 一种基于负刚度原理的永磁低频单自由度隔振机构
- 一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构，包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向...
- 朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利
- 一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置
- 一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、一个推杆、两个移动夹子、两个限位装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作...
- 朱煜杨开明李鑫汪劲松张鸣徐登峰穆海华尹文生胡金春崔乐卿余东东
- 空气轴承提高气浮系统稳定性的阻尼技术被引量：9
- 2010年
- 静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点,是一种优秀的运动导向承载部件,但是它在承载方向上阻尼较小,对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢,影响了系统的稳定性和测量准确性.为了解决这个问题,本文以小孔节流空气轴承作为研究对象,在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔,当空气轴承振动时,压力空气在上下腔室之间流动,通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉.根据这一构想,首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计,接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验,证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用,同时对微振动有良好的抑制效果,然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数,发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比系数有近一个数量级的提高.另外,还通过实验得到新结构空气轴承可以略微增加轴承的承载能力和刚度.
- 徐登峰朱煜尤政张鸣赵冶
- 关键词：空气静压轴承气浮轴承微振动
- 通用空气伺服动力消振器
- 通用空气伺服动力消振器，属于超精密加工及测量领域。为了解决现有动力消振器存在的刚度和阻尼参数调节困难，难以实现通用化的缺点，本发明提供了一种通用空气伺服动力消振器，包括上端开口下端密封的圆柱形外壳，通过环状橡胶薄膜密封连...
- 汪劲松朱煜徐登峰杨学智
- 一种具有多掩模的光刻机硅片台系统
- 一种具有多掩模的光刻机硅片台系统，该系统含有基台，至少一个硅片台，一组光学透镜和掩模台系统。掩模台系统包括掩模台基座、掩模运动台和掩模承载台，所述的掩模台基座的长边为Y方向，短边为X方向；掩模运动台在掩模台基座上沿Y方向...
- 朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春许岩
- 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
- 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频...
- 朱煜王磊杰张鸣刘召成荣杨开明徐登峰叶伟楠张利赵彦坡秦慧超田丽张金尹文生穆海华胡金春
- 光刻机硅片台双台交换系统
- 光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有基台，运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台下方装有旋转电机，在两硅片台完成预处理和曝光运动后，旋转硅片台，以完成硅片台工位的交换，交换时基台固定不动。本发明避免了大惯...
- 朱煜陈亚英张鸣徐登峰汪劲松
- 一种光刻机硅片台双台交换装置
- 一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，两个预处理工位和一个曝光工位。在基台上设有运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直...
- 朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
- 一种激光干涉光刻系统
- 一种激光干涉光刻系统，用于大面积光栅制造的激光干涉光刻系统。该系统包括激光器、反射镜、分束器和基底台等。激光器出射的激光经反射镜、分束器后分为两束干涉光束，干涉光束经反射镜在基底台承载的基底上实现合光干涉，干涉图形通过曝...
- 朱煜王磊杰张鸣刘召杨开明胡金春尹文生穆海华胡楚雄徐登峰成荣
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
- 杨开明朱煜李鑫汪劲松尹文生胡金春张鸣徐登峰穆海华崔乐卿余东东
