段宇波
- 作品数：3 被引量：10H指数：2
- 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术化学工程更多>>
- 中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究被引量：4
- 2010年
- 利用两种中频交流磁控溅射电源,溅射Al2O3含量为2%的两块氧化锌铝陶瓷靶材,在不同衬底温度的条件下制备得到了ZAO薄膜。研究了不同衬底温度条件下不同靶材和溅射电源对ZAO薄膜结构、电学和光学性能的影响。结果表明,制备得到的ZAO薄膜均具有c轴择优取向生长的晶体结构,在衬底温度为240℃时,得到的ZAO薄膜的电阻率低至1.4×10-3Ω·cm,可见光平均透过率在82%以上。
- 刘江庄大明张弓李春雷段宇波
- 关键词：ZAO薄膜磁控溅射电阻率透过率
- 中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究
- 利用两种中频交流磁控溅射电源,溅射Al2O3含量为2%的两块氧化锌铝陶瓷靶材,在不同衬底温度的条件下制备得到了ZAO薄膜。研究了不同衬底温度条件下不同靶材和溅射电源对ZAO薄膜结构、电学和光学性能的影响。结果表明,制备得...
- 刘江庄大明张弓李春雷段宇波
- 关键词：ZAO薄膜磁控溅射电阻率透过率
- 文献传递
- 水浴温度对化学浴沉积CdS薄膜性能的影响被引量：6
- 2010年
- 采用化学浴沉积法(CBD)在硫酸镉、硫脲、氨水、氯化铵溶液体系中制备了CdS薄膜,研究了水浴温度对CdS薄膜的生长过程和物理性能的影响。试验表明,CdS薄膜的生长速率随着水浴温度提高而显著增加,薄膜从疏松变的致密,但是过高的水浴温度会导致表面晶粒变的粗糙;薄膜的结晶程度随着水浴温度提高而增强,择优取向明显;制得的CdS薄膜均有较高的光透过率,随着水浴温度的提高,薄膜厚度增加,透过率在波长560nm处出现峰值;所得薄膜均是富Cd的,且随着水浴温度的提高Cd含量也增加;薄膜的暗电导率约为10-5～10-4Ω-1cm-1,比光电导率小2～3个数量级,电导率与水浴温度没有明显对应关系。
- 段宇波张弓庄大明
- 关键词：CDS薄膜
