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蔡安江
作品数:
1
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供职机构:
合肥低温电子研究所
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
汤延林
合肥低温电子研究所
徐剑虹
合肥低温电子研究所
张朝兴
合肥低温电子研究所
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张朝兴
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蔡安江
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1篇
低温与超导
年份
1篇
1991
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超导Nb膜的淀积及Nb/Al-AlO_X/Nb Josephson结的制备
1991年
使用低温泵真空系统的平面磁控溅射设备,通过严格控制溅射条件和溅射过程,成功地淀积了室温—液氮电阻比β优于2.2的超导Nb膜。沿用湿法刻蚀技术,制备了面积为4×4μm^2的Nb/Al-AlO_x/Nb Josephson结;并在本所自行研制的4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
徐剑虹
蔡安江
刘萍梅
汤延林
刘新华
王吉云
宫海燕
张朝兴
关键词:
超导膜
淀积
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