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徐洋
作品数:
4
被引量:17
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院研究生院
王渤帆
中国科学院上海光学精密机械研究...
程欣
中国科学院上海光学精密机械研究...
徐静浩
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
4篇
唐锋
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徐洋
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王渤帆
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徐静浩
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传媒
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中国激光
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2014
2篇
2012
1篇
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平面面形绝对检验技术测量误差分析
被引量:17
2011年
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。
徐洋
唐锋
王向朝
徐静浩
范李立
程欣
光学元件旋转定位夹具
一种光学元件旋转定位夹具,其特点在于由旋转定位标记板、旋转台和二维偏心调节台组成,所述的二维偏心调节台具有一个供所述的旋转台安装的凹形圆盘和在该凹形圆盘的两个相互垂直的方向设有两个调节旋钮,所述的旋转台具有供被测光学元件...
徐洋
唐锋
王向朝
王渤帆
文献传递
光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法
一种用于绝对检验中光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法,所述的光学元件旋转定位夹具由旋转定位标记板、旋转台、二维偏心调节台组成。本发明具有结构简单,成本低的特点,解决了目前绝对检验方法对高精度旋转台的依赖问题。
徐洋
唐锋
王向朝
王渤帆
光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法
一种用于绝对检验中光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法,所述的光学元件旋转定位夹具由旋转定位标记板、旋转台、二维偏心调节台组成。本发明具有结构简单,成本低的特点,解决了目前绝对检验方法对高精度旋转台的依赖问题。
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唐锋
王向朝
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