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徐洋

作品数：4 被引量：17H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渤帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 半导体激光 干涉仪 测量方法 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范李立
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静浩
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程欣
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：误差分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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